罗茨泵与干式螺杆泵相结合的机械真空泵系统。利用罗茨泵的超高抽气能力，对RH工艺废气“增压”来满足高抽气量的要求，利用干式螺杆泵的高压缩比将工艺废气压缩至大气压以上后排至大气，满足RH工艺真空度高、废气量大、快速抽真空的要求。

关键技术

      （1）满足大型RH 装置抽气能力的干式机械真空泵组的组态技术；

      （2）干式机械真空泵组安全运行技术；

      （3）适应RH 高温、高CO、含O2 烟气过滤及除尘系统技术；

      （4）干式机械真空泵组与RH 精炼模式的匹配控制技术。