在LCD蚀刻厂安装燃烧或热销毁装置以减少SF₆排放。

1、截止2009年1月31日前至少有3年的SF₆ 购买、消耗和LCD 基板产量的数据；

2、没有法律法规强制要求分解、销毁、回收或替代 SF₆ 或含SF₆ 废气中的任何组分；

3、SF₆不能临时储存供销毁；

4、SF₆销毁和使用装置在同一地点进行，以及销毁装置前不存在影响SF₆流量变化的因素；

4、不适用于化学气相沉积（CVD）工艺中使用SF₆的流程。

1、消除装置的SF₆的输入及排出气量；

2、项目年度消耗的SF₆总量（考虑购买量和库存）；

3、项目中LCD基板产量；

4、消除装置入口和出口的SF₆流量；

5、入口和出口气体总干基分子量；

6、入口和出口气流的含水率；

7、气道入口及出口的绝对压力和绝对温度；

8、气道入口和出口的平均速位差、平均流速和体积流量；

9、气道入口、出口的SF₆浓度和质量密度；

10、消除装置化石燃料及电力消耗项目排放。

本CCER方法学工具简表参考CDM方法学手册。